<li id="dqzk4"><object id="dqzk4"></object></li>

    1. CIF扫描电镜等离子清洗机

        CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
      1. 详细信息

      图片5.jpg


      产品特点

      双等离子清洗源

      一机多用

      高效低损伤

       

      技术参数

      产品型号

      CIF-SEM

      法兰接口

      KF40CF40

      工作气压

      0.3-3Pa

      等离子电源

      13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调,


      远程等离子源,自动匹配器

      气体控制

      标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

      气源选择

      根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

      真空控制

      美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

      真空保证

      真空计和电磁阀安全互锁

      操控方式

      7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

      电源/功率

      220V,50/60Hz,300W

      可选配件

      可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 

      质量保证

      二年质保,终身维护


      ?
      激情偷乱人伦小说视频在线_欧美亚洲国产精品久久高清_18禁超污无遮挡无码免费应用_色老汉影院