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    1. CIF透射电镜样品杆清洗机

        CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。
      1. 详细信息


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      产品特点

      双等离子清洗源

      一机多用

      快速高效低损伤

       

      技术参数

      产品型号

      CIF-TEM

      等离子电源

      13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-150W可调


      远程等离子源,自动匹配器

      清洗室

      清洗室尺寸(长X宽X高)Φ150XH150mm

      清洗数量

      可同时清洗3支TEM样品杆

      适配品牌

      THERMO FISHERFEI)、日立HITACHI、捷欧路JEOL

      气体控制

      标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

      气源选择

      根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

      真空控制

      质量流量计(MFC)美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr

      真空保证

      真空计和电磁阀安全互锁

      操控方式

      7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

      电源

      220V,50/60Hz,300W

      质量保证

      二年质保,终身维护

      真空泵

      Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵


      最大入口压力1.0个大气压(0psig),最大出口压力1.4个大气压(6.5psig)


      最高抽速60L/min,极限真空3.3 x 10-1 mbar


      KF16入口接口



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