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    1. CIF中试型等离子清洗机CPC-12系列

        CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中试生产、模拟生产条件的等离子体清洗设备,几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。具有较大的腔体尺寸和样品处理面积,使用成本低,性价比高,易维护,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
      1. 详细信息

      产品特点:

      PLC工控机控制整个清洗过程,全自动进行。

      7寸彩色触摸屏互动操作界面,实时工作参数状态直观显示。

      手动、自动两种工作模式。

      数字流量计控制,控制更准确

      符合人体功能学的60度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。

      顶置真空仓,上开盖设计下压式铰链开关方式

      上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。

      有效处理面积大,可处理8寸硅片去胶等应用。

      可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品,进行清洗和改性。

      安全保护,仓门打开,自动关闭电源。

      技术参数:

      型号

      CPC-12

      CPC-12plus

      舱体尺寸

      H120xΦ370mm  

      H120xΦ370mm

      舱体容积

      12.8L

      12.8L

      射频电源

      40KHz

      13.56MHz

      匹配器

      自动匹配

      自动匹配

      射频功率

      10-300W可调

      10-300W可调

      气体控制

      质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)

      最大处理尺寸

      Φ370mm圆盘

      产品尺寸

      L618xW520xH465mm

      包装尺寸

      L750xW640xH570mm

      时间设定

      1-99分59秒

      真空泵

      抽速约8m3/h

      气体稳定时间

      1分钟

      真空度

      100pa以内

      AC220V 50-60Hz  

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