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    1. 匀胶机

        德国SPS-EUROPE公司匀胶机具有转速稳定,启动快速,涂胶一致性和均匀性好等特点,广泛应用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺制版表面涂覆。
      1. 详细信息

      工作原理

      匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

      独有特征

      可编程全尺寸彩色触摸屏控制器,可拆卸,耐化学试剂腐蚀。速度、加速和时间可编程;无限量程序存储空间,可存储旋涂多步骤工作协议,具有协议密保功能。

      可编程转速范围: 1rpm-12,000rpm,转速参数设置范围广,高精确性旋转速度 (± 0.1 rpm)。

      数字电机控制,带增速数字显示信号反馈,以避免转速过量,从而提升涂膜的品质。

      防静电PET透明衬套,杜绝工作仓室的交叉污染。

      图片2.png一体化结构设计,壳体采用α-聚丙烯(NPP-H)材质,传动系统采用工程塑料材质,寿命长耐腐蚀。

      采用经过热处理透明玻璃盖。玻璃盖带弹簧可自动将盖子固定在理想位置,玻璃盖上带注射器固定架和氮气扩散器,注射器固定架以固定的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂,氮气扩散器在旋涂过程可注入到工作舱氮气/氩气,工作舱环境可控。

      安全互锁装置:工作舱盖锁止,舱盖打开旋转自动停止,真空不足或没有真空旋转自动停止,过载保护。

      USB端口:可上传和下载旋涂协议和软件。

      三个外接控制端口,可用于接入注入单元自动控制,氮气扩散器控制等。

      产品通过CE认证。

      技术参数

       


      SPN150i

      SPN200i

      控制方式

      全彩触摸屏控制界面

      全彩触摸屏控制界面

      结构材质

      聚丙烯(NPP-H)材质

      聚丙烯(NPP-H)材质

      旋转速度

      1-12000rpm ±1rpm steps

      1-12000rpm ±1rpm steps

      旋转精度

      ±0.1rpm

      ±0.1rpm

      旋转方向

      顺时针,逆时针,交换摆动

      顺时针,逆时针,交换摆动

      加速/减速

      1-30,000rpm/秒 (每步可选)

      1-30,000rpm/秒 (每步可选)

      旋转时间

       0.1-99999秒/步

       0.1-99999秒/步

      基片范围

      160mm 或6"直径或4"x4"方片

      260mm 或6"直径或6"x6"方片

      腔体直径

      202mm

      302mm

      外接控制端口

      3个

      3个

      真空开关

      外形尺寸

      27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

      380x559x307cm(WxDxH)


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