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    1. 匀胶机不是简单的均匀涂抹的机器

      匀胶机是一种常见用于材料薄膜制备工艺的实验室设备,它的原理相对比较简单,利用电机高速旋转时所产生的离心力使得试液或者胶液均匀地涂敷在基底材料的表面,可以“让胶液均匀涂敷的机器”。

      匀胶机有很多称谓,匀胶台,旋转涂膜机,旋转涂层机或者旋转涂敷机等等,它的英文是 Spin Coater(旋转涂膜的意思)。匀胶机既然是科研开发上制备薄膜材料的方法之一,使用者对于该设备期待就在于其能够“均匀”地涂敷试液或者胶液。


      通常我们会用均一性和可重复性来衡量薄膜材料制备的好坏。国内外对于这种匀胶旋涂设备的发展呈现出很大的差距。中国先开展匀胶机研制的单位是中科院微电子所,推出的KW-4A型号的匀胶机,具有低速起步和高速旋转两个单位。

       CIF生产的匀胶机,  采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶的均一性。5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,z100个阶段。内置水平校准装置,保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。多重安全保护:样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。一机两用,根据


      不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置。可选氮气吹干、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供多种的操作便利性。适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。


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